(1) 真空泵不转：
　　情况不明不能先开泵，以免加重故障，用手能盘动和不能盘动。
　　① 真空泵泵能盘动而不转
　　原因可能是联轴器故障;皮带打滑;电机接线有误;电机损坏;电源没电等。
　　② 不能盘动或盘起来很重的
　　原因可能是因为起动泵温太低，泵油粘度太高;设计制造原因的停泵返油太多。油位太高引起的停泵返油太多(加油太多，或有水汽在泵中凝结，或在排气管中凝结的水流回泵中);有异物在泵内(进气管中的焊渣、氧化物;旋片弹簧等泵零件的碎屑;旋片变形卡住;发生了咬合 。
　　(2) 真空泵温太高：
　　指低级排气阀附近测得的高油温过使用说明书规定值。由于泵温升高会使泵油粘度大幅下降，并使泵油的饱和蒸汽压升高，使泵的压力升高和抽气效率下降;使橡胶件容易老化;热膨胀使运转间隙缩小，是某些非金属旋片的厚度方向和铜套内孔间隙，影响泵运转的性。泵温太高的原因可以是泵环境温度太高，进气温度太高，进气冷却装置失效，泵长期连续运转入口压力太高;水冷泵冷却水量不足，循环水设计效果不佳;温控水量调节阀失效等。
　　(3) 真空泵漏油：
　　可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头、定子部件与支座的通孔连接处，气镇阀(例如2X-8)等部位。可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。
　　自制橡胶垫时，部分要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
　　(4) 真空泵漏水：
　　可以发生在水管接头，水套闷盖平面，放水孔螺塞，放水阀等处，水套钻穿，铸件缺陷，冻裂，也可能导致漏水。